Analiza zahtev glede uspešnostititanove tarčev različnih panogah
Gmail:alisa@jmyunti.com
I. Osnovne zahteve glede učinkovitosti titanovih tarč
① Čistost: Čistost kot eden od glavnih kazalnikov učinkovitosti ciljnih materialov bistveno vpliva na učinkovitost tankih filmov. V praktičnih aplikacijah se zahteve glede ciljne čistosti razlikujejo od industrije do industrije. Na primer, v mikroelektronski industriji z nenehnim povečevanjem velikosti silicijevih rezin in nenehnim zmanjševanjem širine ožičenja se povečujejo tudi zahteve glede ciljne čistosti. V preteklosti je 99,995-odstotna ciljna čistost lahko izpolnjevala procesne zahteve 0.35um IC, zdaj pa priprava 0.18um linij zahteva, da ciljna čistost doseže 99,999% ali celo 99,9999%.
② Vsebnost nečistoč: Nečistoče v ciljni trdni snovi ter kisik in vodna para v porah so glavni viri onesnaženja za nanesene filme. Zato imajo tarče za različne namene različne zahteve glede vsebnosti nečistoč. Na primer, cilji iz čistega aluminija in aluminijevih zlitin, ki se uporabljajo v industriji polprevodnikov, imajo posebne zahteve glede vsebnosti alkalijskih kovin in vsebnosti radioaktivnih elementov.
③ Gostota: Da bi zmanjšali pore v trdni tarči in izboljšali učinkovitost napršenega filma, mora imeti tarča običajno večjo gostoto. Gostota ciljnega materiala ne vpliva le na hitrost razprševanja, ampak vpliva tudi na električne in optične lastnosti filma. Poleg tega lahko izboljšanje gostote in trdnosti tarčnega materiala tudi bolje prenese toplotno obremenitev med postopkom brizganja. Zato je tudi gostota eden ključnih kazalnikov učinkovitosti ciljnega materiala.
④ Velikost zrn in porazdelitev velikosti zrn: Ciljni material je običajno polikristalna struktura, velikost zrn pa lahko sega od mikronov do milimetrov. Pri istem tarčnem materialu je hitrost razprševanja tarče z drobnimi zrni običajno hitrejša kot pri tarči z grobimi zrni; in porazdelitev debeline filma, nanesenega z naprševanjem tarče z majhno razliko v velikosti zrn (enakomerna porazdelitev), je bolj enakomerna.
2. Zahteve glede čistosti za titanove tarče v različnih panogah
① Tarče iz titana, ki se uporabljajo v integriranih vezjih: Integrirana vezja imajo izjemno visoke zahteve glede čistosti za tarče iz titana, običajno več kot 99,995 %, da se zagotovi učinkovitost in stabilnost filma.
② Tarče iz titana, ki se uporabljajo v ploskih zaslonih: ploski zasloni vključujejo zaslone s tekočimi kristali, plazemske zaslone, elektroluminiscenčne zaslone in zaslone z emisijami polja. Ti zasloni pogosto uporabljajo tehnologijo brizganja za nanašanje tankih filmov med proizvodnim procesom. Med njimi morajo titanove tarče, kot ena od pomembnih tarč za razprševanje, običajno imeti čistost večjo od 99,9 %. Poleg tega se titanove tarče lahko široko uporabljajo na visokotehnoloških področjih, kot so elektronika, informacijska industrija, dekoracija doma in proizvodnja avtomobilskega stekla. V teh panogah se titanove tarče večinoma uporabljajo za prevleke integriranih vezij, ploščatih zaslonov ali kot dekoracija in steklena prevleka. Z optimizacijo učinkovitosti in čistosti titanovih tarč je mogoče izpolniti zahteve različnih industrij glede učinkovitosti in stabilnosti filma.
Podjetje: Baoji Dynamic Trading Co., Ltd
Država: Kitajska
Dodaj: cesta Baoti, Jintai, mesto Baoji, Shaanxi, Kitajska
Cel:+86 18391896637(WHATSAPP)/18391894207
Gmail:alisa@jmyunti.com
Spletna stran: www.jm-titanium.com
